Einführung
Der HD100RHalbleiter-Magnetpumpeist eine professionelle Transferausrüstung, die maßgeschneidert-für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Ausgestattet mit einer dichtungslosen Magnetantriebsstruktur sorgt es während des gesamten Betriebs für null Leckage und keine externe Kontamination und erfüllt damit vollständig die hohen Sauberkeitsanforderungen von Halbleiterwerkstätten.
Die benetzten Teile dieser PTFE-Magnetpumpe für Halbleiter bestehen aus hochreinem PTFE, das verschiedenen hochkorrosiven Halbleiterchemikalien ohne Ionenausfällung oder Medienpermeation widersteht. Es transportiert sicher Spezialchemikalien wie Ätzlösungen, Reinigungslösungen und hochreine Reagenzien. Der integral geformte totraumfreie Pumpenkörper mit hochglänzender Oberfläche ermöglicht eine gründliche Reinigung und verhindert wirksam Medienrückstände und Kreuzkontaminationen. Als zuverlässige Magnetpumpe für Halbleiterchemikalien läuft sie stabil und vibrationsarm und unterstützt einen 24-Stunden-Dauerbetrieb. Es wird häufig in der Wafer-Herstellung, Chip-Verpackung und Halbleiter-Nassprozessen eingesetzt und dient als Kerngerät für den Transport korrosiver hochreiner Chemikalien im Halbleitersektor.
Produktstrukturschema
Technischer Parameter
Modell | Röhrenschnittstelle | SpiralschnittstelleR-M RX-MRZ-M | Max. Kapazität (L/min) | Max. Kopf (m) | Spezifisches Gewicht | Motor | Gewicht (kg) | |||
Einlass (mm) | Auslass (mm) | Einlass/Auslass | Kupplungsabmessungen (mm) | 50Hz/60Hz | 50Hz/60Hz | Ausgang(w) 50Hz/60Hz | Phase | |||
HD100R | 26 | 26 | G1 | 20 | 120/135 | 8.6/11.9 | 1.2 | 260/265 | 1oder3 | 8.1 |
Leistungskurve
Hauptvorteile
1. Integral geformtes hochreines PTFE mit ausgezeichneter Korrosionsbeständigkeit
Die benetzten Teile dieser PTFE-Magnetpumpe für Halbleiter sind integral aus verdicktem, hochreinem PTFE formgepresst. Im Vergleich zu herkömmlichen gespleißten PTFE-Pumpen zeichnet sie sich durch eine deutlich verbesserte Beständigkeit gegen das Eindringen stark korrosiver Chemikalien und eine höhere Druckbeständigkeit aus. Es eignet sich uneingeschränkt für die langfristige Bereitstellung hochkonzentrierter Ätzlösungen und Stripper für Halbleiter und verhindert Materialablösung, Ausbeulung und Ionenausfällung.
2. High-Flow-Struktur für stabile Lieferung
Das kundenspezifische Hochleistungs-Hydraulikmodul ist für die Massenproduktion von Halbleitern konzipiert. Es bietet einen größeren Durchflussbereich und eine stabile Druckabgabe zur gleichzeitigen Flüssigkeitsversorgung mehrerer Nassprozesslinien und löst die Probleme unzureichender Förderhöhe und drastischer Durchflussschwankungen gewöhnlicher Magnetpumpen unter Bedingungen mit hohem Durchfluss.
3. Hochbelastbares, vollständig abgedichtetes Magnetantriebssystem
Diese Magnetpumpe für Halbleiterchemikalien ist mit verbesserten, verstärkten Magnetkupplungskomponenten für eine höhere Drehmomentkapazität ausgestattet. In Kombination mit einem vollständig abgedichteten, staub- und korrosionsbeständigen Gehäuse gewährleistet es einen langfristigen Dauerbetrieb unter Volllast und isoliert luftgetragene Partikel und korrosive Gase in staubfreien Werkstätten, um die wichtigsten Getriebeteile zu schützen.
4. Großes -Kapazitäts-totraum-freies Hohlraumdesign
Der vergrößerte Hohlraum des HD100R sorgt für einen optimierten, sanften Übergang ohne Flüssigkeitsansammlungen in toten Ecken. Seine hochglänzende Innenwand ermöglicht eine schnellere und gründlichere Online-Reinigung. Es eignet sich ideal für die abwechselnde Lieferung verschiedener Halbleiterchemikalien und vermeidet das Risiko einer Kreuzkontamination vollständig.
5. Hoch-druckbeständige Struktur für komplexe Pipelinebedingungen
Das Pumpengehäuse und die Verbindungsteile sind für hohe Drücke verstärkt und bieten eine bessere Drucktragfähigkeit als vergleichbare Modelle. Es passt sich an komplexe Rohrleitungen, Lieferungen über große Entfernungen und schwankenden Rohrleitungsdruck in Halbleiterwerkstätten an und arbeitet stabil ohne Leckagen oder Verformungen.
Typische Anwendungen
● Langstreckentransport von hochkonzentrierter Flusssäure zum Ätzen von Wafern
Das integral formgepresste, verdickte PTFE-Material von HD100R widersteht einer langfristigen Permeation von Flusssäure und vermeidet eine Delaminierung und Ausbeulung der Hülle beim Transport über große Entfernungen unter hohem Druck.
● Zentralisierte Flüssigkeitsversorgung für parallele Halbleiter-Nassprozess-Produktionslinien
Ausgestattet mit einem speziellen Hochleistungs-Hydraulikmodul zeichnet sich diese Halbleiter-Industriemagnetpumpe durch eine extrem geringe Dämpfung von Förderhöhe und Durchflussrate aus. Es kann mehr als drei Reinigungs- und Ätzproduktionslinien unabhängig voneinander stabil mit Flüssigkeit versorgen und ersetzt so den parallelen Einsatz mehrerer Magnetpumpen mit kleinem Durchfluss.
● Abwechselnder zirkulierender Transport vielfältiger Säure-{0}Base-Chemikalien für Halbleiter
Mit einem erweiterten, glatten, totraumfreien Hohlraum und einer hochglänzenden Innenwand hinterlässt es nach der Online-Reinigung keine chemischen Rückstände, verhindert gründlich eine Kreuzkontamination bei der abwechselnden Abgabe von Ätzlösungen und Abbeizmitteln und passt sich den Arbeitsbedingungen an, die bei häufigem Chemikalienwechsel auftreten.
Abmessung (mm)
Modell | W | H | L | a | b | c | h | e | f | g | i |
HD100R | 156 | 174 | 335 | 70 | 100 | 110 | 74 | 65.5 | 44 | 147 | 4-9*27 |
FAQ
F: Wird es beim Transport chemischer Flüssigkeiten über große Entfernungen zu Pumpenlecks und Verformungen aufgrund unzureichender Druckbeständigkeit durch Rückstau aus Rohrleitungen kommen?
A: Bei der Standard-Rohrleitungsanordnung kommt es zu keinem Druckausfall. In Rohrleitungen für Halbleiter-Ätzflüssigkeiten über große Entfernungen kommt es zwangsläufig zu einem Druckverlust, und es ist wahrscheinlich, dass es beim Abschalten der Ausrüstung und bei der Regulierung des Zweigdrucks zu umgekehrten Rückstaueffekten kommt. Als industrielle Halbleiter-Magnetpumpe bietet die HD100R eine gezielte Druckverstärkung für Rückstaubedingungen über große Entfernungen. An den Verbindungsstellen von Pumpengehäuseflanschen und Pumpendeckeln sind kohlenstofffaserverstärkte Auskleidungen mit einer Nenndruckfestigkeit von bis zu 1,6 MPa eingebettet. Es kann den dynamischen Rückstaudruck in Rohrleitungen ausgleichen. Das integral geformte PTFE-Gehäuse weist keine Spleißspalte auf, was Gehäuserisse und Flüssigkeitslecks verhindert und den Transport von Halbleiterchemikalien über 100 Meter unterstützt.
F: Reduziert der High-{0}}Flow-Fördermodus des HD100R die hydraulische Effizienz?
A: Innerhalb des Nenndurchflussbereichs mit hohem{0}} kommt es zu keiner Abschwächung der hydraulischen Effizienz. Ausgestattet mit einem maßgeschneiderten Spiralgehäuse mit breitem{2}Abschnitt und einem nach vorne-geneigten Niedrig--Wirbelrad optimiert der HD100R die Anpassung der Krümmung des Strömungswegs. Sein hydraulischer Wirkungsgrad bleibt unter allen Nennbedingungen mit hohem Durchfluss stabil über 78 %, ohne dass der Wirkungsgrad bei steigender Durchflussrate abnimmt, und sorgt für einen gleichmäßigen Zweigdruck für die parallele Mehrleitungs-Flüssigkeitsversorgung.
F: Wo kann man den HD100R kaufen?Halbleiter-Magnetpumpe?
A: Sie können unser Verkaufsteam per E-Mail kontaktierenjuicy@sxhono.com.cnum Produktspezifikationen, Angebote und Auswahlempfehlungen einzuholen. Wenn Sie spezielle Anwendungsanforderungen haben, können wir Ihnen auch maßgeschneiderte Flüssigkeitstransferlösungen anbieten.
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