Einführung
Der HD70RElektronik-Magnetpumpeist eine hochpräzise Flüssigkeitstransfereinheit, die exklusiv für die Elektronikfertigungsindustrie entwickelt wurde und als präzise chemische Magnetpumpe und ultrareines Magnetpumpensystem fungiert. Durch die Verwendung einer dichtungslosen Magnetantriebsstruktur erreicht es während des gesamten Betriebs keine Leckage und keine Kontamination und entspricht vollständig den strengen Sauberkeitsstandards für Elektronikwerkstätten.
Alle medienberührten Teile bestehen aus hochreinen, sauberen Materialien mit präzisionspolierten Oberflächen, die keine Substanzausfällung oder ionische Kontamination aufweisen. Es ermöglicht eine stabile Übertragung von hochreinen Reagenzien in elektronischer-Qualität, Fotoresist-Chemikalien und ultra{4}}reinem Wasser. Dieses ultrareine Magnetpumpensystem verfügt über einen stromlinienförmigen, totraumfreien Innenraum und unterstützt die Online-Reinigung, um Medienrückstände und Kreuzkontaminationen wirksam zu verhindern. Mit geringem Geräuschpegel, minimaler Pulsation und präziser, stabiler Durchflussrate arbeitet der HD70R kontinuierlich rund um die Uhr in Produktionslinien für Halbleiter, Leiterplatten und Präzisionselektronik. Es ist die ideale Wahl für den ultra-sauberen und hochpräzisen Flüssigkeitstransfer im Elektronikbereich.
Produktstrukturschema
Technischer Parameter
Modell | Röhrenschnittstelle | SpiralschnittstelleR-M RX-MRZ-M | Max. Kapazität (L/min) | Max. Kopf (m) | Spezifisches Gewicht | Motor | Gewicht (kg) | |||
Einlass (mm) | Auslass (mm) | Einlass/Auslass | Kupplungsabmessungen (mm) | 50Hz/60Hz | 50Hz/60Hz | Ausgang(w) 50Hz/60Hz | Phase | |||
HD70R | 26 | 26 | G1 | 20 | 86/97 | 6.7/9.7 | 1.0 | 150/180 | 1oder3 | 6.6 |
Leistungskurve
Hauptvorteile
1. Ultra-Material, keine Ionenausfällung
Die medienberührten Teile bestehen aus hochreinen Materialien-in Elektronikqualität mit spezieller Reinigungsbehandlung. Im Vergleich zu Standard-Magnetpumpen reduziert es die Ausfällung von Metallionen und organischen Verunreinigungen erheblich, verhindert wirksam die Verunreinigung von hochreinen Reagenzien und Fotolacklösungen und ist ideal für hochreine Prozesse wie die Halbleiterfertigung.
2. Präzise Mikroströmungsabgabe mit geringer Pulsation
Die hochpräzise chemisch-magnetische Pumpe HD70R ist mit einer ausgeklügelten hydraulischen Struktur ausgestattet und bietet eine überragende Genauigkeit der Durchflussregelung und eine extrem niedrige Flüssigkeitspulsation. Es hat keinen Einfluss auf die Zusammensetzung von Präzisionschemikalien und erfüllt die strengen Anforderungen an einen äußerst stabilen Durchfluss und Druck in der Elektronikproduktion.
3. Vollständiger Spiegel-polierter toter-raum-freier Strömungskanal
Der vollständig stromlinienförmige Pumpenhohlraum ist vollständig hochglanzpoliert, ohne Verbindungsspalte, und übertrifft damit die Sauberkeitsstandards gewöhnlicher sauberer Pumpen. Es hinterlässt nach der Reinigung keine Rückstände und verhindert grundsätzlich eine Kreuzkontamination zwischen verschiedenen hochreinen Medien.
4. Vollständig versiegelter Schutz gegen äußere Partikel
Als Teil des ultrareinen Magnetpumpensystems verhindert die vollständig geschlossene Struktur, dass Werkstattstaub und Schwebeteilchen in die Pumpe gelangen. Es passt sich der Betriebsumgebung staubfreier Elektronikwerkstätten an und hält die geförderten Medien stets in einem äußerst sauberen Zustand.
5. Langfristiger stabiler Betrieb für ununterbrochene Produktion
Präzise-kalibrierte Übertragungs- und Stützkomponenten sorgen für extrem niedrige-Vibrationen und Geräusche sowie eine hervorragende Ermüdungsbeständigkeit. Die Pumpe unterstützt einen Dauerbetrieb rund um die Uhr, um eine unterbrechungsfreie Produktion auf elektronischen Produktionslinien zu gewährleisten.
Typische Anwendungen
● Geschlossener -Transport des Entwicklers für die Halbleiter-Photolithographie
Der HD70R verfügt über eine duale MaterialreinigungsbehandlungElektronik-Magnetpumpeeliminiert die Ausfällung von Metallionenspuren, verhindert lichtempfindliche Ausfälle von Photolithographiechemikalien und stabilisiert die Waferausbeute.
● Pulsationsarmer Zweigtransport von ultrareinem Wasser für Plattenfabriken
Ausgestattet mit selbstentwickelten hydraulischen Laufrädern mit niedriger-Pulsation hält diese präzise chemische Magnetpumpe die Wasserdurchflussschwankung unter 3 %, ohne die stabile Molekularstruktur von ultra-reinem Wasser zu zerstören, und erfüllt damit die strengen Standards für den Transport von ultra-reinem Wasser für Werkstätten für Panel-Gelb{5}}.
● Abwechselnder Transport mehrerer Fotolackentferner in staubfreien Werkstätten
Mit vollständig hochglanzpolierten, nahtlosen Strömungskanälen und vollständig geschlossenem Außenschutz verhindert es eine Kreuzkontamination flüssiger Chemikalien und verhindert, dass sich in der Luft schwebende Partikel in staubfreien Werkstätten mit den geförderten Flüssigkeiten vermischen.
Abmessung (mm)
Modell | W | H | L | a | b | c | h | e | f | g | i |
HD70R | 143 | 158 | 286 | 70 | 96 | 108 | 65 | 56.5 | 43 | 135 | 4-9*14 |
FAQ
F: Werden Metallionen während des Transfers chemischer Halbleiterflüssigkeiten aufgrund eines unzureichenden Reinigungsgrades des Materials ausfallen?
A: Unter konformen Arbeitsbedingungen kommt es nicht zu einer übermäßigen Ionenausfällung. Die benetzten PTFE-Komponenten der Präzisions-Chemie-Magnetpumpe HD70R nutzen zwei Reinigungsverfahren: „primäres Pulversieben und sekundäres Vakuumsintern“, um eingebettete Metallreste im Pulver zu entfernen. Der Werkstest eines Drittanbieters zeigt, dass die Metallionenausfällung konstant kleiner oder gleich 0,1 ppb ist, was den SEMI S22-Standards für hochreine Halbleiterflüssigkeiten entspricht. Es unterstützt den unterbrechungsfreien Transfer im geschlossenen{10}Kreislauf rund um die Uhr und vermeidet die Kontamination von Halbleiter-Präzisionschemikalien.
F: Können in der Luft befindliche Partikel in staubfreien Werkstätten durch Wärmeableitungsspalte in den Pumpenhohlraum gelangen und die Halbleiter- und Panelproduktion stören?
A: Dies wird unter normalen staubfreien -Arbeitsbedingungen nicht passieren. HD70R verfügt über eine geschlossene Sandwich-Struktur zur passiven WärmeableitungElektronik-MagnetpumpeEliminiert alle freiliegenden hohlen Wärmeableitungslöcher. Antistatische mikroporöse staubdichte PTFE-Dichtungen sind an allen Antriebsseitenspalten installiert. Sie erfüllen die Wärmeableitungsanforderungen magnetischer Komponenten und fangen in der Luft befindliche Partikel ab, die größer oder gleich 0,05 μm sind. Damit erfüllen sie die Nutzungsanforderungen für staubfreie Werkstätten der ISO-Klasse 1.
F: Wo kann man den HD70R kaufen?Elektronik-Magnetpumpe?
A: Sie können unser Verkaufsteam per E-Mail kontaktierenjuicy@sxhono.com.cnum Produktspezifikationen, Angebote und Auswahlempfehlungen einzuholen. Wenn Sie spezielle Anwendungsanforderungen haben, können wir Ihnen auch maßgeschneiderte Flüssigkeitstransferlösungen anbieten.
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